从事微纳加工、阻变存储器、超宽禁带半导体器件等领域的研究。IEEE会员，中国电子学会青年科学家俱乐部会员，第三代半导体青年创新促进委员会会员，全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻工作组委员，IEEE EDL/TED、Adv. Mater.等多种国际著名学术期刊的审稿人。主持国家自然科学基金、科技部（863、973、重大专项、重点研发计划）、中科院等资助科研项目15项。2017年作为负责人获得中科院创新交叉团队项目资助。在IEEE EDL等国际学术期刊和会议上发表论文100余篇，SCI他引300余次，2篇第一作者IEEE EDL论文入选ESI高引论文（累计引用居前1%的论文）。获得/申请专利90余项，其中9项转移给国内最大的集成电路制造企业中芯国际，74项授权/受理发明专利许可给武汉新芯。获得2013年国家技术发明奖二等奖（排名6/6）、2016年国家自然科学二等奖（排名4/5）。

教育背景：

1995.9-2002.3北京科技大学，应用物理本科、材料物理硕士

2002.4-2005.6中国科学院微电子研究所，微电子学与固体电子学博士

工作经历：

2005.7-2018.3中国科学院微电子研究所，助理研究员、副研究、研究员

2018.3-至今中国科学技术大学微电子学院，教授，常务副院长

2011.2-2012.2巴塞罗那自治大学电子工程系，访问学者